先前《彭博社》已有報導，先進晶片因要倚靠極紫外光（EUV）微影製程，這些設備需龐大電力才能運作，預期到了2025年，台積電用電量將占全台12.5％。
這還只是2025年，近日曝光的台積電1奈米廠可能進駐桃園計畫，這家護國神山用電量還要墊高，一位半導體產業界人士表示，台積電尚未提出建廠計畫，尚不清楚會有多少廠房，但一個晶圓廠計畫完成恐得4到5年，加上先期環評，最快完工也在2028年之後了。
由於先進製程用電量越來越龐大，3奈米廠年用電量就約70億度來說，這位半導體界人士評估，1奈米廠用電量可能不會少於80億度，甚至接近百億度。
以政府電力報告，2028年全國負載約4200萬瓩來說，光1奈米廠，就相當全國用電量的2.3％左右，之後台積電整體用電量合計應該超過全國15％以上。
清大工程與系統科學系教授葉宗洸指出，這座台積新廠用電量並不在長期電力供需報告內，經濟部要靠加強電網與高壓雙迴路只說了一半，未來三年基載核電除役，煤電也從43％降到30％，再生能源進度落後，又不可能有充足天然氣可供發電。「如此勢必要先犧牲其他工業與民生用電戶。」
對於1奈米廠可能用電百億度，台電發言人吳進忠回應：「台積電還沒申請，我們也不知道。」但是台電會從電源與線路兩端著手。假設1奈米廠選在龍科三期，這裡離大潭電廠與龍潭超高壓很近，等於是在「水龍頭」旁邊，線損最小，供應最方便。
他強調，電源部分，除三接蓋好後，自己有大潭電廠7到9號新燃氣機組可支應。另外，民營電廠（IPP）在桃園當地有海湖、新桃、國光三家，而先前2025到26年民營電力招標，只有中佳與九威電力2家簽約，還有剩餘二期容量可以擴增，且未來業者也會採用更大容量燃氣機組。
線路部分，吳進忠表示，目前大潭電廠輸配線路到竹工至龍潭超高壓，是否需要擴充，屆時會再檢討，不論如何，一定會滿足台積建廠需求。
